主要特點

 1、采用6″彩色觸摸屏,可控制射頻功率、清洗時間、氣體流量、真空泵的開啟等。

 2、內部配有0-500mm/min的質量流量計,可以精確地控制進氣流量。

技術參數

 1、電源:AC220V

 2、射頻功率:zui大100W,可在0-100W間調節

 3、真空泵功率:<500W

 4、總功率:<600W

 5、射頻:13.56MHz

 6、等離子腔體:高純石英腔體,外徑 Φ8.5 ",內徑 Φ8.2 ",長12",采用鋁制折疊式法蘭進行真空密

                               封,法蘭設有一個Φ60mm的觀察窗口

 7、極限真空度:50mtorr

 8、通入氣體:可通入多種氣體,如N₂、Ar、Air、H₂、O₂和混合氣體等等(根據材料性質所定)

清洗及蝕刻

產品規格

 尺寸:620mm×450mm×600mm

標準配件

 1、直連式雙旋真空泵(240L/min)

 2、KF25波紋管

 3、KF25手動擋板閥

可選配件

 1、300W、600W射頻電源(進行等離子刻蝕和等離子灰化等實驗)

 2、2″-6″石英舟(盛放基片)

 3、2-4通道浮子混氣系統

 4、2-4通道質子混氣系統